干式螺桿真空泵應用范圍廣,可用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。
干泵的幾大典型應用領(lǐng)域
1.在半導體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。
2.在核工業(yè)中用于核反應堆及核工業(yè)真空獲得,能夠抽除普通空氣,易燃易爆氣體和腐蝕性氣體,尤其能滿(mǎn)足對獲得清潔真空要求高的環(huán)境;
3.石油化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取,高效回收溶劑,可大量抽除可凝性氣體,或腐蝕性氣體、有毒氣體、含微塵的氣體;
4.在脂肪酸生產(chǎn)中,用來(lái)消除水污染,清除噴射器中的阻塞物;
5.醫藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體,為人造器官生產(chǎn)提供清潔無(wú)菌條件,回收氣體消毒劑;
6.食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮、食品包裝等。
干式螺桿泵的技術(shù)含量高,適合用在高純凈的真空工藝過(guò)程,其真空度極高,適應惡劣工況的能力強。不同于其他類(lèi)型的真空泵對含顆粒物的氣體較為敏感,干式螺桿泵可抽除可凝性和含顆粒物的氣體,且易做防腐處理。
相比于其他的傳統真空泵,干式螺桿真空泵更適合現在的新興行業(yè),如半導體、生物醫藥、電子、核能等。